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新型工业扫描电镜(SEM)的特色突破

发布于:2019-08-11 10:54编辑:dede58.com 作者:dede58.com点击:

工业扫描电镜作为微观世界眼见为实的仪器,在近二十年发展历程中性能逐步提高,却仍有空间进行0到1的原创革新。 工业电镜为我国新型产业从跟跑、并跑跨越到领跑提供工具,起到举足轻重的作用。

本文简介新型工业扫描电镜(SEM)的性能指标、功能特点和典型应用举例,着重描述从整体设计到关键部件、从指导理念到制造层面的特色创新。

一、性能指标

超高速、分辨率和适用性是现代电镜的三大要素。国产工业扫描电镜成像速率实现单通道100M像素/秒。二次电子(SE)和背散射电子(BSE)同步成像,可达2x100M像素/秒。 摄像能力达2x200帧/秒@512x512, 或2x60帧/秒@1024x1024, 两倍于视频高清成像。 电镜不仅可在1.2秒内双通道大范围快速生成高清图像, 还可观测捕捉样本动态变化过程。

国产工业扫描电镜的主要性能参数列表如下:

新型工业扫描电镜(SEM)的特色突破

表一 国产工业扫描电镜的主要性能指标

图一展示的是两台电镜在同等条件下背散射信号(BSE)对果蝇脑神经细胞切片扫描生成的图像, 侧重对成像速率作一比较。 在保证二者都能观测到该生物组织清晰图像的情况下,右图为某国外知名品牌扫描电镜的图像,采集8000像素X6000像素的超高清图像,成像时间为43500ms (890ns/pixel), 束流1.5nA。 左图为国产工业扫描电镜对同样样品采集的8000像素X8000像素超高清图像,成像速度412ms (6.13ns/pixel), 束流1.5nA。国产工业电镜快了一百倍。

新型工业扫描电镜(SEM)的特色突破

图一 同等条件下不同SEM对某一生物组织扫描成像速率比较

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